根據(jù)《中華人民共和國安全生產(chǎn)法》第一百條規(guī)定：未經(jīng)依法批準(zhǔn)，擅自生產(chǎn)、經(jīng)營、運(yùn)輸、儲存、使用危險(xiǎn)物品或者處置廢棄危險(xiǎn)物品的，依照有關(guān)危險(xiǎn)物品安全管理的法律、行政法規(guī)的規(guī)定予以處罰；構(gòu)成犯罪的，依照刑法有關(guān)規(guī)定追究刑事責(zé)任。微電子潔凈室的三廢分為廢物、廢氣、廢液，因此，潔凈室的三廢處理應(yīng)當(dāng)完全合法，不能造成環(huán)境污染和安全事故，做到人與自然和諧相處；同時，科學(xué)、嚴(yán)格的分類回收處理是進(jìn)一步加強(qiáng)實(shí)驗(yàn)室安全管理，實(shí)現(xiàn)資源有效利用的體現(xiàn)。

6.1 廢物處理潔凈實(shí)驗(yàn)室固體廢物指實(shí)驗(yàn)所產(chǎn)生的各類危險(xiǎn)固態(tài)廢物，包括：存放實(shí)驗(yàn)原料的容器、實(shí)驗(yàn)材料的包裝、廢棄實(shí)驗(yàn)玻璃器物等其他固體形式 [17]2019 年 7 月 1 日《上海市生活垃圾管理?xiàng)l例》正式實(shí)施，實(shí)驗(yàn)室廢物管理可參照該條例把實(shí)驗(yàn)廢物也進(jìn)行分類回收，實(shí)驗(yàn)廢物與生活垃圾不混同，實(shí)驗(yàn)廢物由學(xué)校有資質(zhì)的部門進(jìn)行回收處理。

6.2 廢氣處理對實(shí)驗(yàn)過程中能夠產(chǎn)生無毒氣體或少量有毒氣體的實(shí)驗(yàn)，可直接通過通風(fēng)櫥和通風(fēng)管道進(jìn)行排放；對某一次實(shí)驗(yàn)有大量有毒有害氣體產(chǎn)生的實(shí)驗(yàn)，可根據(jù)不同的化學(xué)性質(zhì)進(jìn)行吸收處理，無害后排放；對某實(shí)驗(yàn)設(shè)備一直會產(chǎn)生有毒有害氣體的，應(yīng)給這個實(shí)驗(yàn)設(shè)備安裝額外的尾氣處理裝置，實(shí)驗(yàn)廢氣經(jīng)過該尾氣處理裝置后，由學(xué)校有關(guān)部門驗(yàn)收合格后，該實(shí)驗(yàn)設(shè)備才能正常使用 。

6.3 廢液處理實(shí)驗(yàn)室廢液特點(diǎn)是：量大、品類繁多、回收事務(wù)繁雜且隨著實(shí)驗(yàn)的進(jìn)行隨時都可能產(chǎn)生；在實(shí)驗(yàn)過程中產(chǎn)生的任何廢液嚴(yán)禁簡單隨意地倒入實(shí)驗(yàn)室水槽，有效管理實(shí)驗(yàn)廢液是實(shí)驗(yàn)室安全管理的重要內(nèi)容 。實(shí)驗(yàn)室廢液處理，有條件的學(xué)?？梢越U液處置系統(tǒng)，該系統(tǒng)驗(yàn)收合格后，廢液可達(dá)標(biāo)排放。實(shí)驗(yàn)廢液一般采用體積稍大（例如：25進(jìn)行分類收集（例如：分為有機(jī)廢液和無機(jī)廢液），并貼上標(biāo)簽記錄；后續(xù)倒入廢液前，應(yīng)查看該桶的收集記錄，確認(rèn)不會與桶內(nèi)原有廢液產(chǎn)生異常反應(yīng)；如果有可能產(chǎn)生反應(yīng)，則該廢液單獨(dú)存放其他容器中進(jìn)行后續(xù)回收處理。